クリーンルーム
クリーンルームとは、空気中の塵埃・細菌を除去し減少させ、温度・湿度を制御した部屋です。
その用途は、微粒子や細菌を嫌う製品を扱う施設で、精密機器・半導体工場、食品加工工場、製薬工場など様々です。
弊社では、既に稼働しているクリーンルーム内の工事については、クリーンスーツの着用はもちろんのこと、クリーンルーム工事専用の工具を使用して工事を行っています。
※「クリーンルーム専用の工具」とは一般の工事用とは別に、クリーンルームのみで使うために用意したきれいな工具です。
工具に付着した、他の現場の塵埃を持ち込まないという意味であり、「塵埃を発生しないクリーンルーム仕様」という意味ではありません。
クリーンルームの４原則
- 微粒子・細菌を室内に入れないこと
室内を陽圧（大気圧より高い圧力）にして、扉等が開いた時吹き出るようにします。 - 微粒子・細菌を極力排除すること
エアシャワーを用いて、入室時に身体に付いた微粒子を排除します。
クリーンルーム内は、HEPAフィルタを通した空気を循環させ、微粒子を取り除きます。 - 微粒子・細菌の発生を防ぐこと
室内ではクリーンスーツ、マスク、手袋等を装着し、身体から発生する塵埃を防ぎます。
無塵紙や不織布など、粒子が発生しにくい製品を使用します。 - 微粒子・細菌を堆積させないこと
室内は清掃を心掛けると共に、手の届きにくい所は斜め屋根を付けてホコリが落ちやすい様にします。
クリーンルームの種類
クリーンルームには工業用クリーンルーム(ICR)、とバイオクリーンルーム(BCR)無菌室とがあります。
工業用クリーンルームは、浮遊塵埃を除去する無じん室です。
精密機器、半導体工場などに使われます。
バイオクリーンルームは、浮遊塵埃だけでなく細菌をも除去する無菌室です。
食品加工工場や無菌室（無菌動物飼育室等）、バイオハザードなどに使われます。
ICR: Industrial Clean Room
BCR: Biological Clean Room
清浄度 クラス
ICRは米国連邦規格FS209、BCRは米国航空宇宙局(NASA)規格に準用します。
清浄度にはクラスという単位があります。
一般的にはクラス100,000〜100まであります。
クリーンルームの方式
| 方式 | 得られる清浄度 | コスト |
|---|---|---|
| 乱流（コンベンショナル）式 | クラス10,000〜 | 安価 |
| 水平層流（クロスフロー）式 | クラス100〜10,000 | やや高い |
| 垂直層流（ダウンフロー）式 | クラス100〜10,000 | 高い |
クリーンルームの設備
クリーンルームの４原則の条件を満たすために様々な工夫が凝らされています。 クリーンブース |
局所的に清浄度を高めたいときに、クリーンルームより低価格でお手軽なのがクリーンブースです。 イエローブースや遮光ブースを使えば、光線に敏感な品物でも対応することが出来ます。 軽量でキャスターも付いてるので移動も簡単です。 |
|---|---|
 HEPAフィルタ |
微細な塵埃や細菌をもシャットアウトする、クリーンルームには欠かせない高性能フィルタです。 0.3μｍの粒子を99.97％除去する事が出来るフィルタです。 定期的な交換が必要です。 |
 エアシャワー |
クリーンルームの出入り口で、HEPAフィルタで無塵化したジェット気流により体に付着したゴミを吹き飛ばします。 エアロックの働きもするので、クリーンルーム内への塵埃の進入を最小限にくい止めます。 |
 パスボックス |
クリーンルームへの出入りは最小限にする必要があります。 パスボックスは物品の受け渡しをするための箱で壁面に取り付けます。エアロックの働きをし、クリーンルーム内への塵埃の進入を最小限にくい止めます。 |
 リリーフダンパー |
クリーンルーム内は、外部からの塵埃の進入を防ぐために、陽圧(正圧）（バイオハザードは陰圧（負圧））に保たれています。内部と外部での圧力差が有るため、ドアの開閉が困難になります。 リリーフダンパーは部屋の差圧を調整し陽圧に保ち、ドアの開閉を楽にする働きを持っています。 |